[发明专利]一种靶材用高纯钛板的制备方法

摘要

本发明提供了一种靶材用高纯钛板的制备方法，包括以下步骤：一、将海绵钛颗粒压制成电极块，然后将电极块焊接成自耗电极；二、将自耗电极经真空自耗电弧熔炼得到铸锭；三、将铸锭进行第一加热处理；四、将铸锭进行镦拔锻造，得到板坯；五、将板坯进行第二加热处理；六、将板坯进行轧制，得到半成品板材；七、将半成品板材经退火、矫直和表面修磨处理，得到靶材用高纯钛板。采用本发明制备的靶材用高纯钛板的质量纯度不小于99.8%，平均晶粒尺寸小于100μm，且晶粒尺寸均匀一致，满足溅射靶材的相关技术要求，可广泛应用于电子器件、半导体、平面显示等溅射膜领域。

主权项

一种靶材用高纯钛板的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： 步骤一、将海绵钛颗粒压制成密度为3.2g/cm3～3.5g/cm3的电极块，然后将多个所述电极块在真空等离子焊箱中进行真空等离子焊接，得到自耗电极； 步骤二、将步骤一中所述自耗电极置于真空自耗电弧熔炼炉中，在真空度不大于0.5Pa的条件下进行两次真空自耗电弧熔炼，得到铸锭；所述铸锭的截面形状为直径为480mm～720mm的圆形； 步骤三、切除步骤二中所述铸锭的冒口和锭底，去除铸锭的表面缺陷，然后将去除表面缺陷后的铸锭置于加热炉中进行第一加热处理，所述第一加热处理的具体制度为：首先在温度为750℃～800℃的条件下保温60min～90min，然后升温至1000℃～1050℃后保温300min～450min； 步骤四、采用快锻机将步骤三中经第一加热处理后的铸锭进行一火次的镦拔锻造，得到厚度为120mm～240mm的板坯；所述镦拔锻造的总变形量为65%～80%； 步骤五、去除步骤四中所述板坯的表面缺陷，然后将去除表面缺陷后的板坯置于加热炉中，在温度为850℃～880℃的条件下保温150min～280min进行第二加热处理； 步骤六、采用热轧机将步骤五中经第二加热处理后的板坯进行轧制，得到厚度为10mm～20mm的半成品板材；所述轧制的总变形量为85%～95%； 步骤七、将步骤六中所述半成品板材依次进行退火、矫直和表面修磨处理，得到厚度为10mm～20mm的靶材用高纯钛板；所述靶材用高纯钛板的质量纯度不小于99.8%。