[发明专利]密封件及使用该密封件的基板处理装置

摘要

公开了一种密封件及使用该密封件的基板处理装置。根据本发明涉及的密封件及使用该密封件的基板处理装置，当门挤压密封件时，与门接触的密封件部位向门的外缘部侧滑动的同时被挤压到本体的前表面侧。这样，门与密封件之间的接触面积变宽，所以即使门的一侧部位受热而变形，密封件除了与变形的门部位接触，还与变形门部位的外侧部位接触，因此门和密封件之间完全被密封。由此，异物无法流入腔室，而腔室的热不会向外部泄漏，所以基板被均匀地处理。因此，具有提高基板处理工艺的可靠性的效果。

主权项

一种密封件，其特征在于，包括：插入部，形成闭合状，截面形状为一对对边平行的梯形，用于插入并结合于第一相对物；挤压部，从由所述插入部的截面所形成的一对对边中的短边延伸形成，并露出于所述第一相对物的外侧，而且通过第二相对物被挤向所述第一相对物侧；由所述插入部的截面所形成的一对对边与所述插入部的半径方向平行，所述挤压部向与所述插入部的半径方向垂直的方向延伸，并以所述插入部的中心为基准，越朝向与所述插入部的半径方向垂直的方向的外侧，与所述第二相对物接触的内周面越趋向所述插入部的半径方向的外侧，当所述第二相对物向所述第一相对物侧移动时，所述挤压部随着所述第二相对物向所述插入部的半径方向的外侧滑动的同时，被挤向与所述插入部的半径方向垂直的方向。