[发明专利]一种紫外固化微纳米结构拼版装置及拼版工艺有效

专利信息
申请号: 201310152954.X 申请日: 2013-04-27
公开(公告)号: CN103226288A 公开(公告)日: 2013-07-31
发明(设计)人: 申溯;张小峰;张家银;陈林森 申请(专利权)人: 苏州大学;苏州苏大维格光电科技股份有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;G03F7/20
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 唐灵;常亮
地址: 215123 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种紫外固化微纳米结构拼版装置及拼版工艺,包括基板平台、压印机主体、驱动装置和控制系统,其中压印机主体包括压辊、光源和喷嘴,压辊上卷设有透明软压模。本发明的拼版装置采用紫外光固化工作方式,不需加热,在常温下即可工作。在压印时采用辊筒与基底采用线接触方式,能够有效排除模版和拼版材料之间的气体,降低脱模难度。采用软压膜技术,成本低,效率高,对原始模版的损伤少。
搜索关键词: 一种 紫外 固化 纳米 结构 拼版 装置 工艺
【主权项】:
一种紫外固化微纳米结构拼版装置,包括用以放置待压基膜的基板平台、设置于该基板平台上方的压印机主体、用于驱动压印机主体和基板平台之间相对移动的驱动装置,以及对上述各个部件进行电控制的控制系统,其特征在于:所述压印机主体上设有压辊、光源和喷嘴,所述压辊和光源固定于一压辊运动装置,所述喷嘴固定于一喷嘴运动装置上,所述光源设置于压辊相对其前进方向的后方,所述喷嘴设置于压辊相对其前进方向的前方,所述压辊表面卷设有一层透明软压膜,该透明软压膜的一端固定于压印机主体上,另一端固定于压辊上,且固定于压印机主体的一端位于光源相对压辊的另一侧。
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