[发明专利]机械手无效
| 申请号： | 201310154997.1 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103227139A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 李佳 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区高登威科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215121 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种机械手，包括主机械手、安装在所述主机械手上的副机械手以及安装在所述主机械手上的清洗装置，所述主机械手包括主气缸、安装在所述主气缸上的主连接件以及安装在所述主连接件上的主吸盘；所述副机械手包括副气缸、安装在所述副气缸上的副连接件以及安装在所述副连接件上的副吸盘；所述清洗装在安装在所述主连接件上。与现有技术相比，本发明所述机械手不仅能够抓取单晶硅，还能对单晶硅进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 | ||
【主权项】：
一种机械手，其特征在于：所述机械手包括主机械手、安装在所述主机械手上的副机械手以及安装在所述主机械手上的清洗装置，所述主机械手包括主气缸、安装在所述主气缸上的主连接件以及安装在所述主连接件上的主吸盘；所述副机械手包括副气缸、安装在所述副气缸上的副连接件以及安装在所述副连接件上的副吸盘；所述清洗装在安装在所述主连接件上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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