[发明专利]一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装方法

摘要

一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装方法，它涉及一种大口径光学元件的横向洁净拆装方法。本发明为了解决大口径光学聚焦与频率转换系统维护光学元件时间长，装置运行效率低的问题。本发明主要步骤：打开大口径光学聚焦与频率转换系统壳体上的冲压接口法兰，将洁净风机与洁净充气接口相连；将拆装装置运输到转换系统附近；启动洁净风机；打开光学元件拆装接口法兰；调整拆装装置位姿，将其连接到光学元件拆装接口法兰上；拔出箱体盖板；通过操作口转移光学元件；插入箱体盖板；将拆装装置拆下；封闭拆装接口法兰口；停止洁净风机；将洁净风机从冲压接口法兰上拆除，并封闭冲压接口；将转运箱运输回百级洁净实验室进行维修。本发明将光学元件的维护周期从2天缩短到2小时。

主权项

一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装方法，其特征在于：大口径光学元件的横向在线洁净拆装方法的具体步骤为：步骤1：准备工作；打开大口径光学聚焦与频率转换系统壳体上的充压接口法兰（F1），将洁净风机与大口径光学聚焦与频率转换系统壳体上的充压接口法兰（F1）安装处的洁净充气接口相连；将大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置运输到大口径光学聚焦与频率转换系统附近，粗定位；步骤2：启动洁净风机；步骤3：打开大口径光学聚焦与频率转换系统壳体上的光学元件拆装接口法兰（F2），等待3‑10分钟；步骤4：调整大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置位姿，使大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置满足光学元件拆装要求；然后将大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置连接到大口径光学聚焦与频率转换系统壳体上的光学元件拆装接口法兰（F2）上；步骤5：拔出大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置的光学元件洁净拆装转运箱（E）的箱体盖板（E15）；步骤6：操作者通过光学元件洁净拆装转运箱（E）上的操作口将光学元件从大口径光学聚焦与频率转换系统拔出滑入光学元件洁净拆装转运箱（E）内，或者将光学元件从光学元件洁净拆装转运箱（E）插入到大口径光学聚焦与频率转换系统内；步骤7：插入大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置的光学元件洁净拆装转运箱（E）的箱体盖板（E15）；步骤8：将大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置从大口径光学聚焦与频率转换系统壳体上的光学元件拆装接口法兰（F2）上拆下；步骤9：封闭大口径光学聚焦与频率转换系统壳体上的光学元件拆装接口法兰口；步骤10：停止洁净风机；步骤11：将洁净风机接口从冲压接口法兰（F1）上拆除，并封闭充压接口；步骤12：将拆卸后的光学元件洁净拆装转运箱（E）运输回百级洁净实验室进行维修。