[发明专利]一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置

摘要

一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置，它涉及一种大口径光学元件的横向洁净拆装装置。本发明为了解决大口径光学聚焦与频率转换系统维护光学元件时间长，装置运行效率低的问题。本发明包括5自由度位姿调整台、洁净拆装转运箱和连接手轮；5自由度位姿调整台的竖向位置调整单元、横向位置调整单元、纵向位置调整单元和2自由度姿态调整单元由上至下依次连接，横向位置调整单元通过横向手轮转动横向平动螺杆，驱动横向工作台平移；纵向位置调整单元通过纵向手轮转动纵向平动螺杆，驱动纵向工作台平移；洁净拆装转运箱与2自由度姿态调整单元连接，连接手轮安装在连接轴的外端。本发明用于大口径光学元件的横向在线洁净拆装中。

主权项

一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置，一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置包括5自由度位姿调整台、洁净拆装转运箱（E）和连接手轮（F）；所述5自由度位姿调整台包括竖向位置调整单元（A）、横向位置调整单元（B）、纵向位置调整单元（C）和2自由度姿态调整单元（D）；所述竖向位置调整单元（A）包括固定底座（A1）、升降螺杆（A3）、升降螺母（A7）、承接圆盘（A8）、升降轴承座（A5）、升降轴承端盖（A6）、轴承锁紧圆螺母（A27）、多个升降操作手柄（A26）、多个转动锁紧螺母（A30）、多个转动锁紧螺杆（A32）和多个锁紧杆（A31）；固定底座（A1）的上端面上安装有升降轴承座（A5），升降螺杆（A3）竖直设置在固定底座（A1）内，且升降螺杆（A3）与固定底座（A1）同轴设置，升降螺杆（A3）的上端螺纹连接有轴承锁紧圆螺母（A7），轴承锁紧圆螺母（A7）的下端连接有轴承锁紧圆螺母（A27），轴承锁紧圆螺母（A7）的外壁与升降轴承座（A5）之间设置有轴承，轴承通过升降轴承端盖（A6）固定，轴承锁紧圆螺母（A7）的外圆周上均布有多个升降操作手柄（A26），升降轴承座（A5）的外圆周上均布有多个转动锁紧螺母（A30），转动锁紧螺杆（A32）与转动锁紧螺母（A30）螺纹连接，转动锁紧螺杆（A32）的里端插入升降轴承座（A5）并通过锁紧杆（A31）锁紧，升降螺杆（A3）的上端固定连接有承接圆盘（A8）；所述横向位置调整单元（B）包括平动底座（B25）、横向平动螺杆（B8）、横向平动螺母（B22）、横向平动螺母座（B21）、两个横向轴承座（B23）、两个横向轴承端盖（B24）、横向工作台（B9）、横向一对滚珠导轨副（B4）和横向手轮（B1）；平动底座（B25）固定安装在承接圆盘（A8）上，平动底座（B25）上设置有一对横向滚珠导轨副（B4），横向工作台（B9）设置在横向滚珠导轨副（B4）上，横向工作台（B9）的下端面上设置有横向平动螺母座（B21）,横向平动螺母（B22）安装在横向平动螺母座（B21）内，横向平动螺母（B22）与横向平动螺杆（B8）螺纹连接，横向平动螺杆（B8）的两端通过横向轴承座（B23）与平动底座（B25）连接，横向平动螺杆（B8）与横向轴承座（B23）之间设置有轴承，轴承通过横向轴承端盖（B24）固定，横向平动螺杆（B8）的一端连接有横向手轮（B1）；所述纵向位置调整单元（C）包括纵向平动螺杆（C8）、纵向平动螺母（C22）、纵向平动螺母座（C21）、纵向轴承座（C23）、纵向轴承端盖（C24）、纵向工作台（C10）、一对纵向滚珠导轨副（C4）和纵向手轮（C1）；横向工作台（B9）上设置有一对纵向滚珠导轨副（C4），纵向工作台（C10）设置在纵向滚珠导轨副（C4）上，纵向工作台（C10）的下端面上设置有纵向平动螺母座（C21），纵向平动螺母（C22）安装在纵向平动螺母座（C21）内，纵向平动螺母（C22）与纵向平动螺杆（C8）螺纹连接，纵向平动螺杆（C8）的两端通过纵向轴承座（C23）与横向工作台（B9）连接，纵向平动螺杆（C8）与纵向轴承座（C23）之间设置有轴承，轴承通过纵向轴承端盖（C24）固定，纵向平动螺杆（C8）的一端连接有纵向手轮（C1）；所述2自由度姿态调整单元（D）包括驱动转轴（D11）、驱动转轴座（D12）、两个姿态调整钉（D13）、姿态调整架（D14）、支撑销轴座（D15）、支撑销轴（D16）、支撑杆（D17）、角度调整板（D19）、角度锁紧钉（D20）、关节轴承盖（D29）、关节轴承座（D28）和径向关节轴承（D10）；支撑杆（D17）固定安装在纵向工作台（C10）上，支撑销轴座（D15）通过支撑销轴（D16）与支撑杆（D17）的上端转动连接，姿态调整架（D14）的中部与支撑销轴座（D15）固定连接，姿态调整架（D14）的底边中部安装有驱动转轴座（D12），角度调整板（D19）的上端通过驱动转轴（D11）与驱动转轴座（D12）转动连接，角度调整板（D19）的下端通过角度锁紧钉（D20）与支撑杆（D17）连接，姿态调整架（D14）的底边两端各安装有一个姿态调整钉（D13），角度调整板（D19）的上端开有孔，孔内装有关节轴承座（D28），关节轴承座（D28）内设置有径向关节轴承（D10），径向关节轴承（D10）通过关节轴承盖（D29）固定；光学元件洁净拆装转运箱（E）包括箱体（E1）、顶滑道（E4）、底滑道（E11）、滑动操作口（E8）、操作门（E7）、侧操作口（E18）、侧操作口外框（E19）、接口法兰（E16）、连接轴（E5）、箱体过渡框（E14）和箱体盖板（E15）；光学元件洁净拆装转运箱（E）与5自由度调整台之间通过连接轴（E5）连接，连接轴（E5）安装在箱体（E1）的前板（E3）的外端面上，将连接轴（E5）插入径向关节轴承（D10）中，并通过连接螺母锁紧，箱体（E1）的前板（E3）上设有滑动操作口（E8），滑动操作口（E8）处安装有操作门（E7），箱体（E1）的左侧板（E20）上开有孔，孔的外侧边缘设置有侧操作口外框（E19），侧操作口（E18）插装在侧操作口外框（E19）上，箱体（E1）的右侧端口上连接有接口法兰（E16），箱体过渡框（E14）安装在接口法兰（E16）上，箱体过渡框（E14）上开有槽口，箱体盖板（E15）插装在槽口内，箱体（E1）的顶板（E2）的内壁上设置有顶滑道（E4），箱体（E1）的底板（E12）的内壁上设置有底滑道（E11），顶滑道（E4）和底滑道（E11）分列在左右两侧；连接轴（E5）的外端设置有连接手轮（F）。