[发明专利]真空可控高通量大口径光学聚焦与频率转换系统

摘要

真空可控高通量大口径光学聚焦与频率转换系统，属于光学聚焦与频率转换技术领域。它解决了现有光学聚焦与频率转换系统的一体式结构不利于在线更换的问题。它包括靶窗单元部、频率转换单元部、聚焦透镜单元部和光束测量取样部，靶窗单元部末端与频率转换单元部首端的壳体之间、频率转换单元部末端与聚焦透镜单元部首端的壳体之间及聚焦透镜单元部末端与光束测量取样部首端的壳体之间均通过法兰密封连接，靶窗单元部、频率转换单元部和聚焦透镜单元部形成气氛室；它将机械结构设计成可拆装组件，每个组成部以及内部的组件均可通过壳体上设置的相应舱口，采用快卸机构实现快速更换。本发明适用于大口径光学聚焦与频率转换。

主权项

一种真空可控高通量大口径光学聚焦与频率转换系统，其特征在于：它包括靶窗单元部（1）、频率转换单元部（2）、聚焦透镜单元部（3）和光束测量取样部（4），靶窗单元部（1）末端与频率转换单元部（2）首端的壳体之间、频率转换单元部（2）末端与聚焦透镜单元部（3）首端的壳体之间及聚焦透镜单元部（3）末端与光束测量取样部（4）首端的壳体之间均通过法兰密封连接，靶窗单元部（1）、频率转换单元部（2）和聚焦透镜单元部（3）形成气氛室，该气氛室的聚焦透镜单元部（3）和光束测量取样部（4）之间由真空隔离窗隔离形成聚焦透镜气室和测量取样气室，聚焦透镜气室和测量取样气室的真空度不同；靶窗单元部（1）末端侧设置密封窗口压板（1‑1），频率转换单元部（2）壳体的第一侧壁上设置有晶体维护舱门（2‑1），频率转换单元部（2）壳体的第三侧壁上设置晶体锁紧操作舱门（2‑2），所述第一侧壁与第三侧壁为频率转换单元部（2）壳体的两个处于相对方向的侧壁；聚焦透镜单元部（3）壳体的第一侧壁上设置光学元件维护舱门（3‑1），聚焦透镜单元部（3）壳体的第二侧壁上设置透镜电机安装舱门（3‑2），聚焦透镜单元部（3）壳体的第三侧壁上设置有气氛室充气口法兰（3‑3）、第一气氛室控制接口法兰（3‑4）和光学元件锁紧操作舱门（3‑5），聚焦透镜单元部（3）壳体的第四侧壁上设置真空隔离组件插拔口舱门（3‑6），聚焦透镜单元部（3）和光束测量取样部（4）之间法兰的侧面设置维护拆装定位块（3‑7），该维护拆装定位块（3‑7）位于该法兰与聚焦透镜单元部（3）连接侧的端面上，光束测量取样部（4）靠近首端侧的第四侧壁上设置屏蔽片插拔舱门（4‑1），光束测量取样部（4）靠近末端侧的第四侧壁上设置三倍频测量包安装舱门（4‑2），光束测量取样部（4）靠近末端侧的第三侧壁上设置第二气氛室控制接口法兰（4‑3），光束测量取样部（4）的末端连接靶室连接法兰（4‑4），光束测量取样部（4）内设置有三倍频测量包（4‑5）；屏蔽片插拔舱门（4‑1）内插装屏蔽片；频率转换单元部（2）、聚焦透镜单元部（3）和光束测量取样部（4）位于同一表面的侧壁对应为第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁。