[发明专利]薄膜电池的制作方法以及薄膜电池

摘要

本发明提供了一种薄膜电池的制作方法以及薄膜电池。所述方法包括如下步骤：在导电衬底上沉积电池层；在电池层上形成纳米光栅制备需要的纳米图案；在上述纳米图案做为掩模的保护下，在电池层的表面形成纳米光栅；在电池层的纳米光栅表面形成PN结；在PN结表面制备顶电极；在电池层的窗口区沉积介质膜，以钝化纳米光栅，形成完整的叠层纳米光栅结构；在导电衬底未沉积电池层的一侧制备背面电极。本发明的优点在于，在纳米级织构化电池表面沉积介质膜，以有效钝化其表面非辐射复合中心，且不破坏其高效陷光效应，从而使得纳米结构真正应用于太阳电池，提高电池效率，实现电池高性价比。

主权项

一种薄膜电池的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：在导电衬底上沉积电池层；在电池层上形成纳米光栅制备需要的纳米图案；在上述纳米图案做为掩模的保护下，在电池层的表面形成纳米光栅；在电池层的纳米光栅表面形成PN结；在PN结表面制备顶电极；在电池层的窗口区沉积介质膜，以钝化纳米光栅，形成完整的叠层纳米光栅结构；在导电衬底未沉积电池层的一侧制备背面电极。