[发明专利]一种真空镀膜装置无效
| 申请号： | 201310157047.4 | 申请日： | 2013-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN104131254A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 程齐 | 申请（专利权）人： | 上海伟阳纸业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/56 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 201100 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜装置，包括真空室，所述真空室上设有真空泵，真空室内设有放卷滚筒、收卷滚筒以及冷却滚筒，放卷滚筒与收卷滚筒水平平行布置，冷却滚筒设置在放卷滚筒与收卷滚筒之间中间位置的正下方，真空室的内底部上设有坩埚，坩埚布置在冷却滚筒的正下方，坩埚与冷却滚筒之间设有隔热膜，坩埚连接有加热器，放卷滚筒与冷却滚筒通过第一传动辊连接，收卷滚筒与冷却滚筒通过第二传动辊连接。本发明结构简单，使用方便，且通过真空镀膜，镀膜速度快，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜装置，包括真空室，其特征在于：所述真空室上设有真空泵，真空室内设有放卷滚筒、收卷滚筒以及冷却滚筒，放卷滚筒与收卷滚筒水平平行布置，冷却滚筒设置在放卷滚筒与收卷滚筒之间中间位置的正下方，真空室的内底部上设有坩埚，坩埚布置在冷却滚筒的正下方，坩埚与冷却滚筒之间设有隔热膜，坩埚连接有加热器，放卷滚筒与冷却滚筒通过第一传动辊连接，收卷滚筒与冷却滚筒通过第二传动辊连接。
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