[发明专利]一种可批量制备薄膜材料的方法及类似装置

摘要

本发明涉及薄膜生长或薄膜制备领域，更确切地说涉及在衬底上进行沉积或喷镀等方法批量进行薄膜制备的领域以及类似装置。本发明的内容是提供一种方案，既可以解决高温下基底原子蒸发的问题，又可以同时实现批量薄膜生长。可批量制备薄膜材料的方案特点在于：一个可进行双面加热的设计方法或类似装置A，使用面对面的叠放方式，基底表面蒸发的原子B沉积在对面的基底，实现互为补偿，既可以有效避免基底表面原子在高温下蒸发造成的成膜形貌缺陷；又可以实现批量薄膜生长。

主权项

一种可批量制备薄膜材料的设计方案，其特点在于：一个可进行双面加热的设计方法或类似装置，使用面对面的叠放方式，既可以在生长过程中互相补偿蒸发的表面原子，避免基底表面原子在高温下蒸发造成的成膜形貌缺陷；又可以实现批量薄膜生长。