[发明专利]静电夹头有效
| 申请号： | 201310159972.0 | 申请日： | 2009-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN103236413A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 理查·A·库克 | 申请（专利权）人： | 恩特格林斯公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/683;H02N13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 依据本发明实施例，设有一静电夹头，其包括一电极及一表面层，此表面层被电极中的一电压所致动而形成电荷，通过此将一基板静电夹钳至静电夹头上。所述表面层包括多个凸起，所述凸起延伸至围绕所述凸起的部分所述表面层上方的一高度处，以便在基板的静电夹钳期间将所述基板支撑于凸起上。如同就多对相邻凸起之间的中心间距所测量到的，所述凸起在整个表面层上大致等距离隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 夹头 | ||
【主权项】：
一种静电夹头，其包含：一电极；以及一表面层，所述表面层被所述电极中的一电压所致动而形成电荷，用以将一基板静电夹钳至所述静电夹头上；所述表面层包括：(i)一介电材料，包括大于1012ohm‑cm体积电阻率，使得静电夹头是一库伦式夹头；(ii)一电荷控制表面层涂覆覆盖所述介电材料，并且包括0.1至10微米范围内的厚度以及1x108ohms/square到1x1011ohms/square范围内的表面电阻率；以及(iii)多个凸起，所述凸起延伸至围绕所述凸起的部分所述表面层上方的一高度处，以便在基板的静电夹钳期间将所述基板支撑于所述凸起上，如同就多对相邻凸起之间的中心间距所测量到的，所述凸起在整个表面层上等距离隔开。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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