[发明专利]一种铜靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201310160012.6 | 申请日： | 2013-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN104128740A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铜靶材的制备方法，包括：先采用热锻工艺将铜坯料进行致密化处理，在经冷却后，形成第一铜靶材坯料；轧制所述第一铜靶材坯料，使之厚度降低10～50%，形成第二铜靶材坯料；将所述第二铜靶材坯料进行退火处理，形成铜靶材。采用本发明可制备晶粒细小，晶粒结构更为致密，硬度高达90～130HV的铜靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铜靶材的制备方法，其特征在于，包括：提供铜坯料；采用热锻工艺将所述铜坯料进行致密化处理，形成第一铜靶材坯料；轧制所述第一铜靶材坯料，使之厚度降低10～50%，形成第二铜靶材坯料；将所述第二铜靶材坯料进行退火处理，形成铜靶材。
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