[发明专利]一种用于低能重离子的束团参数测量系统，以及一种频率谐振选能能量测量方法

摘要

本发明提供一种用于低能重离子的束团参数测量系统，以及一种频率谐振选能能量测量方法。该测量系统包括：步进电机驱动平台，真空内测量探头，数据采集系统以及外部激励源，所述真空内测量探头包括：前、后位置选择狭缝，前、后平板激励电极，以及法拉第筒；其中，真空内测量探头装载于步进电机驱动平台上，外部激励源分别与前、后平板激励电极电连接，数据采集系统与法拉第筒相连。本发明通过将能量测量转化为频率测量，采用法拉第筒测量离子的通过概率取代常规能散度测量时对束团尺寸的测量，避免了空间电荷效应的干扰，显著提高测量分辨率；通过单一测量设备即可同时实现高分辨率的束团能散度、离子比、发射度三种参数的测量。

主权项

一种用于低能重离子的束团参数测量系统，其特征在于，所述测量系统包括：步进电机驱动平台（1），真空内测量探头（2），数据采集系统（3）以及外部激励源（4），其中，所述真空内测量探头（2）包括：由低能重离子依次穿过的前位置选择狭缝（21）、前平板激励电极（23）、后平板激励电极（24）以及后位置选择狭缝（22）；以及位于所述后位置选择狭缝（22）之后的法拉第筒（25）；其中，所述前平板激励电极（23）和后平板激励电极（24）分别包括一对平行设置的上电极板和下电极板，所述上电极板和下电极板分别设置于所述低能重离子的束流中轴线（M）的上方和下方，所述前平板激励电极（23）和后平板激励电极（24）之间间隔一漂移段（26）；其中，所述真空内测量探头（2）装载于所述步进电机驱动平台（1）上，所述外部激励源（4）分别与所述前平板激励电极（23）和后平板激励电极（24）电连接，并受所述数据采集系统（3）控制，以输出激励信号，所述数据采集系统（3）与所述法拉第筒（25）相连。