[发明专利]一种柔性面板连续无掩膜光刻方法及用于该方法的装置有效
| 申请号： | 201310161496.6 | 申请日： | 2013-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN103246177A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 梅文辉;杜卫冲 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中山市科创专利代理有限公司 44211 | 代理人： | 杨连华 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性面板连续无掩膜光刻方法，其技术方案的要点是，将拟成像于柔性板上的图像分割为n帧图像，通过连续逐帧曝光成像将图像连续曝光成像于柔性板上，n为大于1的自然数。本发明目的是克服了现有技术的不足，提供一种能连续无掩膜光刻柔性面板的柔性面板连续无掩膜光刻方法。本发明还提供了一种用于柔性面板连续无掩膜光刻方法的柔性面板连续无掩膜光刻装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 面板 连续 无掩膜 光刻 方法 用于 装置 | ||
【主权项】：
一种柔性面板连续无掩膜光刻方法，其特征在于：将拟成像于柔性板上的图像分割为n帧图像，通过连续逐帧曝光成像将图像连续曝光成像于柔性板上，n为大于1的自然数。
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