[发明专利]一种双底垫片及一种MEMS传声器有效
| 申请号： | 201310162352.2 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN103281660A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 万景明 | 申请（专利权）人： | 山东共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 261000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双底垫片，该双底垫片包括：第一垫片和第二垫片，第一垫片和第二垫片上设置有凹槽和不同大小的孔轨迹，第一垫片和第二垫片在粘贴时，凹槽保持不同方向，第一垫片和第二垫片的边缘用密封胶或锡膏粘贴在一起，使第一垫片和第二垫片固定连接，并形成四周密封的空腔。通过该双层垫片，当外界有较大冲击时，先通过第一垫片和第二垫片形成的空腔之后再到MEMS片腔体内，空腔有缓冲气流、过滤和阻尼的作用，当灰尘进入后，通过空腔可以进行过滤，达到有效保护MEMS片的目的，同时通过调整孔的大小和轨迹可以改善整体MEMS曲线。本发明还公开了一种MEMS传声器，该MEMS传声器具有所述双底垫片，有效的避免MEMS片受到较大冲击，增强MEMS传声器的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垫片 mems 传声器 | ||
【主权项】：
一种双底垫片，其特征在于，包括：第一垫片13和第二垫片14，所述第一垫片13和所述第二垫片14上设置有凹槽18和不同大小的孔轨迹16和17，所述第一垫片13和所述第二垫片14在粘贴时，所述凹槽18保持不同方向，所述第一垫片13和所述第二垫片14的边缘用密封胶或锡膏15粘贴在一起，使所述第一垫片13和所述第二垫片14固定连接，并形成四周密封的空腔。
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