[发明专利]一种微波液相等离子体发生装置

摘要

本发明公开了一种微波液相等离子体发生装置，包括：微波放电电极、固定盘和微波输入接头；所述微波放电电极底端通过固定盘与微波输入接头顶端活动连接；所述微波放电电极由轴向平行的电极内导体、陶瓷管和电极外导体依次由内到外构成；所述陶瓷管套设于电极内导体外侧壁上；所述陶瓷管与电极外导体之间具有的间隙中均匀填充有硅胶；所述微波输入接头由轴向平行的输入接头内导体、密封固定块和输入接头外导体依次由内到外构成；所述输入接头内导体通过密封固定块与输入接头外导体密封连接；本发明既便于拆卸，也易于操作，同时通过调节陶瓷管的长度，能够实现对放电电极阻抗进行调节，放电电极与馈线的阻抗匹配特性较好。

主权项

一种微波液相等离子体发生装置，其特征在于包括：微波放电电极、固定盘（6）和微波输入接头；所述微波放电电极底端通过固定盘（6）与微波输入接头顶端活动连接；所述微波放电电极由轴向平行的电极内导体（1）、陶瓷管（2）和电极外导体（4）依次由内到外构成；所述陶瓷管（2）套设于电极内导体（1）外侧壁上；所述陶瓷管（2）与电极外导体（4）之间具有的间隙中均匀填充有硅胶（3）；所述陶瓷管（2）顶端端部与电极内导体（1）顶端端部平齐且高于电极外导体（4）顶端端部；所述微波输入接头由轴向平行的输入接头内导体（8）、密封固定块（9）和输入接头外导体（10）依次由内到外构成；所述输入接头内导体（8）通过密封固定块（9）与输入接头外导体（10）密封连接；所述密封固定块（9）套设于输入接头内导体（8）上并与之过盈配合；所述密封固定块（9）具有嵌入到输入接头外导体（10）侧壁中的环状凸起部；所述输入接头外导体（10）侧壁上设有与环状凸起部相配合的环状凹槽。