[发明专利]一种扫描隧道显微镜扫描头在审
申请号: | 201310163003.2 | 申请日: | 2013-05-06 |
公开(公告)号: | CN104142410A | 公开(公告)日: | 2014-11-12 |
发明(设计)人: | 宫会期;王劲川;孙丽欢;董立;颜世超;谢楠;单欣岩;郭阳;陆兴华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | G01Q60/10 | 分类号: | G01Q60/10;G01Q60/16 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种扫描隧道显微镜扫描头,包括:用于固定针尖的针尖托、包括支撑结构的针尖托底座,其中针尖托与针尖托底座通过可分离的结合力结合。根据本发明的扫描隧道显微镜扫描头可以实现真空环境下扫描头针尖的安全快速更换,并且不会破坏现有获得的真空环境。 | ||
搜索关键词: | 一种 扫描 隧道 显微镜 | ||
【主权项】:
一种扫描隧道显微镜扫描头,其特征在于,包括:用于固定针尖的针尖托;包括支撑结构的针尖托底座;其中针尖托与针尖托底座通过可分离的结合力结合。
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