[发明专利]多晶硅棒和其生产方法有效
| 申请号： | 201310164887.3 | 申请日： | 2013-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN103387235A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 马丁·韦伯;埃里希·多恩贝格尔;米夏埃尔·克舍尔;海因茨·克劳斯;赖纳·佩希 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;张英 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅棒和其生产方法，该多晶硅棒具有至少150mm的总直径，包括在细棒周围具有0至低于0.01的孔隙率的核心（A），和至少两个随后的区域B和C，它们的孔隙率以1.7至23的因数不同，外部区域C比区域B的孔隙率低。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种具有至少150mm的总直径的多晶硅棒，包括在细棒周围具有0至低于0.01的孔隙率的核心（A），和至少两个随后的区域B和C，所述区域B和C的孔隙率以1.7至23的因数不同，外部区域C比区域B的孔隙率低。
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