[发明专利]探针模块

摘要

一种探针模块包括一基材、一设置在该基材上的固持件以及沿一第一方向排列的至少一探针列。每一探针列在一第二方向上具有多个探针，分别具有一接触段以及一端连接于该基材上而另一端与该接触段连接的一悬臂段，该接触段与该悬臂段具有一夹角，每一探针列的探针的悬臂段设置于该固持件上而由一待测物侧向一测试机侧形成多层针层，该些探针形成至少两子集合，每一子集合内包含至少两探针，分别设置在至少两针层，同一针层的探针具有相等接触段长度，不同针层的探针接触段长度不相等，不同子集合在同一针层的探针夹角不相等，该两子集合的该至少两探针是设置在相同的该至少两针层中。

主权项

一种探针模块，其特征在于，是用以将一测试机的测试信号传输至一待测物进行电性测试，并定义该测试机所在方向为高侧，该待测物所在方向为低侧，该探针模块包括：一基材；一固持件，设置在该基材上；以及至少一探针列，是沿一第一方向排列，每一探针列在一第二方向上具有多个探针组，每一探针组包括：多个探针，每一探针分别具有一接触段以及一悬臂段，该悬臂段的一端连接于该基材上而另一端与该接触段连接，该接触段与该悬臂段具有一夹角，每一探针列的探针的悬臂段设置于该固持件上而由低侧向高侧形成多层针层，该些探针形成至少两子集合，每一子集合内包含至少两探针，其是分别设置在至少两针层，同一针层的探针具有相等接触段长度，不同针层的探针接触段长度不相等，不同子集合在同一针层的探针夹角不相等，该两子集合的该至少两探针是设置在相同的该至少两针层中。