[发明专利]化学液供液及回收再利用系统与方法有效
| 申请号： | 201310166862.7 | 申请日： | 2013-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN104141164B | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王坚;金一诺;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C25F7/02 | 分类号： | C25F7/02;C25F3/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种化学液供液及回收再利用系统，该系统分别与原液槽、机台储液槽及废液回收槽连接，该系统包括：混液槽、温度检测调节装置、粘度检测调节装置及金属离子浓度检测调节装置。混液槽存放化学液，其中，化学液由原液槽或机台储液槽注入混液槽，或者由混液槽注入机台储液槽或废液回收槽，或者化学液从混液槽抽出后再注入混液槽。温度检测调节装置检测和调节化学液的温度，以使注入至混液槽内的化学液的温度达到目标温度。粘度检测调节装置检测和调节化学液的粘度，以使注入至混液槽内的化学液的粘度达到目标粘度。金属离子浓度检测调节装置检测和调节化学液的金属离子浓度，以使注入至混液槽内的化学液的金属离子浓度小于或等于目标浓度。本发明还揭示了一种化学液供液及回收再利用方法。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 液供液 回收 再利用 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学液供液及回收再利用系统，该系统分别与原液槽、机台储液槽及废液回收槽连接，其特征在于，该系统包括：混液槽，所述混液槽存放化学液，其中，所述化学液由原液槽或机台储液槽注入混液槽，或者由混液槽注入机台储液槽或废液回收槽，或者化学液从混液槽抽出后再注入混液槽；温度检测调节装置，所述温度检测调节装置检测和调节化学液的温度，以使注入至混液槽内的化学液的温度达到目标温度；粘度检测调节装置，所述粘度检测调节装置检测和调节化学液的粘度，以使注入至混液槽内的化学液的粘度达到目标粘度；及金属离子浓度检测调节装置，所述金属离子浓度检测调节装置检测和调节化学液的金属离子浓度，以使注入至混液槽内的化学液的金属离子浓度小于或等于目标浓度；金属离子回收槽，所述金属离子回收槽分别与机台储液槽及混液槽连接，以允许化学液由机台储液槽注入金属离子回收槽以及允许化学液由金属离子回收槽注入混液槽；其中所述金属离子浓度检测调节装置检测和调节金属离子回收槽内的化学液的金属离子浓度，以使化学液的金属离子浓度小于或等于目标浓度之时将化学液由金属离子回收槽注入混液槽。
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