[发明专利]清洗光阻涂布制程中橡皮擦的装置及光阻涂布机有效
| 申请号： | 201310169566.2 | 申请日： | 2013-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN103286090A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 陈晖;林智生 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/04;B05C5/00;B05B1/34 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗光阻涂布制程中橡皮擦的装置及光阻涂布机，该装置包括清洗台和设置在清洗台上方且出液口朝向清洗台方向的喷头，该喷头内设有锥形内腔，所述锥形内腔的尖锥部为所述喷头的出液口。本发明能够实现在节约生产成本的同时加强光阻涂布制程中橡皮擦的清洁力度，有利于提升光阻涂布的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 光阻涂布制程中 橡皮擦 装置 光阻涂布机 | ||
【主权项】：
一种清洗光阻涂布制程中橡皮擦的装置，包括清洗台，其特征在于，还包括设置在清洗台上方且出液口朝向清洗台方向的喷头，该喷头内设有锥形内腔，所述锥形内腔的尖锥部为所述喷头的出液口。
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