[发明专利]基于IGBT串联的固体开关式高压脉冲电源

摘要

本发明公开了一种基于IGBT串联的固体开关式高压脉冲电源。包括主电路和控制单元；其中：主电路中的50kV高压直流电依次与64个IGBT串联电路和处理室相连，通过对64个串联IGBT的同时通断控制，最后可在处理室两端产生40kV左右的高压脉冲；控制单元中的DSP系统发出的PWM信号经PWM放大电路后控制IGBT开关电路，由IGBT开关电路输出的脉冲信号作为64个IGBT驱动电路的输入信号；控制单元中的反激变换电路输出±15V电压，作为PWM放大电路和驱动芯片M57962L的供电电源，而IGBT保护电路通过对64个IGBT串联的过流、过压保护可保护整个电源系统。

主权项

一种基于IGBT串联的固体开关式高压脉冲电源，其特征在于，包括主电路和控制单元；其中：1）主电路：包括50kV高压直流电源、储能电容、64个IGBT串联电路、64个IGBT缓冲电路和处理室；50kV高压直流电源与储能电容并联，其正极与64个IGBT串联电路的一端相连，64个IGBT串联电路的另一端与处理室的一端相连，处理室的另一端与50kV高压直流电源的负极相连；64个IGBT串联电路与64个IGBT缓冲电路相连；2）控制单元：包括全桥整流电路、滤波电路、65个反激变换电路、DSP系统、PWM放大电路、IGBT开关电路、64个M57962L串联电路和IGBT保护电路；220V交流电依次与全桥整流电路、滤波电路相连，滤波电路分别与IGBT开关电路、65个反激变换电路相连；DSP系统发出的PWM信号依次与PWM放大电路、IGBT开关电路、64个M57962L串联电路、64个IGBT串联电路相连；64个M57962L串联电路经IGBT保护电路与DSP系统相连；65个反激变换电路分别与PWM放大电路和64个M57962L串联电路相连。