[发明专利]阵列式超大口径平面光学元件面形检测装置和方法有效
| 申请号： | 201310172925.X | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103267492A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 陈念年;巫玲;范勇;王俊波;杨程;张劲峰 | 申请（专利权）人： | 西南科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 龚燮英 |
| 地址： | 621010 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阵列式超大口径平面光学元件面形检测装置和方法，包括DVD/CD光学头阵列（1）、光学头阵列的恒流驱动子系统（2）、FES信号采集子系统（3）和面形检测控制与处理子系统（4），DVD/CD光学头线阵（1）用于检测被测区域的面形；FES信号采集子系统（3）用于实时采集DVD/CD光学头线阵（1）所检测区域的面形高差；面形检测控制与处理子系统（4）用于对DVD/CD光学头线阵（1）的信号采集、面形重构与绘制。采用阵列式布置DVD/CD光学头，提升面形检测设备的面形检测精度和效率。在背景技术中所列角差法、干涉法等研制的面形设备均价格高，设备庞大，采用本发明能大大降低设备的研制成本。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 超大 口径 平面 光学 元件 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种阵列式超大口径平面光学元件面形检测装置，其特征在于，包括DVD/CD光学头阵列（1）、光学头阵列的恒流驱动子系统（2）、FES信号采集子系统（3）和面形检测控制与处理子系统（4），DVD/CD光学头线阵（1）用于检测被测区域的面形；光学头线阵的恒流驱动子系统（2）用于给光学头线阵提供稳定的电流驱动，以确保光学头中激光器的输出功率恒定；FES信号采集子系统（3）用于实时采集DVD/CD光学头线阵（1）所检测区域的面形高差；面形检测控制与处理子系统（4）用于对DVD/CD光学头线阵（1）的信号采集、面形重构与绘制；其中DVD/CD光学头阵列（1）包括检测基座（11）、阵列式布置的DVD/CD光学头（12）及其高精度调节架（13）。
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