[发明专利]线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置和方法有效
| 申请号： | 201310173244.5 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103267493A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 范勇;陈念年;巫玲;王俊波;杨程;张劲峰 | 申请（专利权）人： | 西南科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 龚燮英 |
| 地址： | 621010 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置和方法，包括DVD/CD光学头线阵（1）、光学头线阵的恒流驱动子系统（2）、FES信号采集子系统（3）、一维运动平台（4）及导轨运动误差测量子系统（5）、面形检测控制与处理子系统（6）；DVD/CD光学头线阵（1）用于检测被测区域的面形；本发明采用线阵式布置DVD/CD光学头，提升阵列式面形检测设备的面形检测精度。在背景技术中所列角差法、干涉法等研制的面形设备均存在价格高，设备庞大，采用本发明能大大降低设备的研制成本。 | ||
| 搜索关键词： | 阵式 超大 口径 平面 光学 元件 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置，其特征在于，包括DVD/CD光学头线阵（1）、光学头线阵的恒流驱动子系统（2）、FES信号采集子系统（3）、一维运动平台（4）及导轨运动误差测量子系统（5）、面形检测控制与处理子系统（6）；DVD/CD光学头线阵（1）用于检测被测区域的面形；光学头线阵的恒流驱动子系统（2）用于给光学头线阵提供稳定的电流驱动，以确保光学头中激光器的输出功率恒定；FES信号采集子系统（3）用于实时采集DVD/CD光学头线阵（1）所检测区域的面形高差；一维运动平台（4）用于驱动DVD/CD光学头线阵（1）做一维扫描运动，以全口径扫描被测光学元件；导轨运动误差测量子系统（5）用于实时测量一维运动平台（4）在运动过程中的左右偏摆和上下俯仰等运动误差；面形检测控制与处理子系统（6）用于对DVD/CD光学头线阵（1）的扫描运动控制、信号采集、面形重构与绘制。
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