[发明专利]一种金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 201310174837.3 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN103236443A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 徐苗;罗东向;李洪濛;庞佳威;郭颖;王琅;彭俊彪 | 申请（专利权）人： | 广州新视界光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 510730 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法，制备方法依次包括：a.在衬底上制备并图形化金属导电层作为栅极；b.在所述金属导电层上沉积第一绝缘薄膜作为栅极绝缘层；c.在所述栅极绝缘层上沉积金属氧化物薄膜并图形化作为有源层；d.在所述有源层上沉积有机导电薄膜作为背沟道刻蚀保护层；e.在所述背沟道刻蚀保护层上沉积金属层然后图形化作为源、漏电极图形；f.在所述源、漏电极上沉积第二绝缘薄膜作为钝化层。本发明制备工艺简单，所制备的金属氧化物薄膜晶体管稳定性好、尺寸小，可实现金属氧化物薄膜晶体管驱动背板高精细化、低成本制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 氧化物 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属氧化物薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，依次包括如下步骤：a.在衬底上制备并图形化金属导电层作为栅极；b.在所述金属导电层上沉积第一绝缘薄膜作为栅极绝缘层；c.在所述栅极绝缘层上沉积金属氧化物薄膜并图形化作为有源层；d.在所述有源层上沉积有机导电薄膜作为背沟道刻蚀保护层；e.在所述背沟道刻蚀保护层上沉积金属层然后图形化作为源、漏电极图形；f.在所述源、漏电极上沉积第二绝缘薄膜作为钝化层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州新视界光电科技有限公司，未经广州新视界光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310174837.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种智能化炼钢逆变电源
- 下一篇：一种具有五防锁的高压负荷开关
- 同类专利
- 专利分类
