[发明专利]具有压缩层的图像传感器

摘要

一种包含半导体衬底的图像传感器器件，该半导体衬底包括阵列区和暗电平校正区。该阵列区包含多个辐射感应像素。该暗电平校正区包含一个或多个参考像素。该衬底具有正面和背面。该图像传感器器件包括在衬底背面上形成的第一压缩应变层。该第一压缩应变层包含氧化硅，且带有负电荷。该第二压缩应变层包含氮化硅，且带有负电荷。在暗电平校正区的至少一部分上方形成金属屏蔽件。图像传感器器件包括在金属屏蔽件上和在第二压缩应变层上形成的第三压缩应变层。该第三压缩应变层包含氧化硅。通过该第三压缩应变层保护金属屏蔽件的侧壁。本发明提供具有压缩层的图像传感器。

主权项

一种半导体图像传感器器件，包括：半导体衬底，具有第一面和与所述第一面相对的第二面，所述衬底包含邻近所述第一面的多个辐射感应区；第一压缩层，设置在所述衬底的所述第二面上；第二压缩层，设置在所述第一压缩层上，其中所述第一压缩层和所述第二压缩层带负电荷。