[发明专利]共光路偏振点衍射移相干涉波前传感器无效
| 申请号： | 201310175437.4 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103245423A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 白福忠;王晓强;刘珍;索晓红;吴亚琴;田枫 | 申请（专利权）人： | 内蒙古工业大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02;G02B27/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010051 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种共光路偏振点衍射移相干涉波前传感器。包括偏振片、第一和第二双折射透镜、移相干涉系统、CCD传感器、计算机；还包括在第一和第二双折射透镜共焦平面处添加一个含有针孔的偏振PDI掩模板。待测线偏振光束被第一双折射透镜分为两束，E光会聚于偏振PDI掩模板上的针孔发生小孔衍射作为参考光；O光几乎无衰减通过偏振PDI掩模板作为测试光；参考光和测试光通过移相干涉系统形成四帧时间或空间移相干涉图，通过旋转偏振片调节条纹对比度，进而使用移相算法重建待测波前相位。本发明采用共光路结构、无需专门的参考光、且系统稳定性强、条纹对比度可调，可适用于各类波前相位的动、静态高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 共光路 偏振 衍射 相干 涉波前 传感器 | ||
【主权项】：
共光路偏振点衍射移相干涉波前传感器，包括偏振片、第一双折射透镜、第二双折射透镜、移相干涉系统、CCD传感器、计算机；其特征在于还包括在第一和第二双折射透镜共焦平面处添加一个含有针孔的偏振PDI掩模板；所述第一双折射透镜、偏振PDI掩模板、第二双折射透镜与CCD传感器组成4f系统；按照光路描述，待测激光光束经过偏振片后被第一双折射透镜分成两束，其中E光经偏振PDI掩模板上针孔发生小孔衍射，再经第二双折射透镜后形成近似理想平面波作为参考光；O光几乎无衰减通过偏振PDI掩模板与第二双折射透镜，仍为平行光束作为测试光；参考光与测试光进入移相干涉系统产生四步移相干涉。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古工业大学，未经内蒙古工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310175437.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
