[发明专利]TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具及其制备方法有效
| 申请号： | 201310175456.7 | 申请日： | 2013-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN103273687A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 李士鹏;邓建新 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;B32B15/04;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/14 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 李健康 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供的TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具及其制备方法，属于机械切削加工领域。该涂层刀具基体材料为硬质合金或高速钢，采用多弧离子镀+中频磁控溅射的方法制备，其结构为多层结构，刀具表面为ZrSiN层，ZrSiN层与TiSiN层之间有TiZrSiN过渡层，TiSiN层与基体间有Ti过渡层，其中TiSiN和ZrSiN层中Si含量的原子百分比为6～10%，本发明将TiSiN涂层高硬性及ZrSiN涂层低摩擦系数良好结合，刀具不仅具有高硬度，还有良好的摩擦磨损性能和优异的抗高温氧化性，切削过程中可减少粘结，减少刀具磨损，提高刀具寿命。该涂层刀具可广泛应用于干切削加工及难加工材料的切削加工。 | ||
| 搜索关键词： | tisin zrsin 复合 纳米 涂层 刀具 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具，刀具基体材料为高速钢或硬质合金，其特征在于：涂层为多层结构，刀具表面为ZrSiN层，ZrSiN层与TiSiN层之间有TiZrSiN过渡层，TiSiN层与基体间有Ti过渡层。
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