[发明专利]光模块、电子设备、食物分析装置以及分光照相机有效
申请号: | 201310175617.2 | 申请日: | 2013-05-13 |
公开(公告)号: | CN103424865B | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 广久保望 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;G02B5/28;G01N21/45 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 余刚,吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。该光模块具备波长可变干涉滤波器以及控制施加给静电致动器部的电压的电压控制部,该波长可变干涉滤波器具备相互相对的反射膜、以及具有第一静电致动器及第二静电致动器且用于改变反射膜间间隙的静电致动器部,电压控制部具备对第一静电致动器施加偏压的偏压驱动部、间隙检测器以及对第二静电致动器施加与检测出的间隙量相对应的反馈电压的反馈控制部。 | ||
搜索关键词: | 模块 电子设备 食物 分析 装置 以及 分光 照相机 | ||
【主权项】:
一种光模块,其特征在于,包括波长可变干涉滤波器以及向所述波长可变干涉滤波器施加电压的电压控制部,所述波长可变干涉滤波器包括第一反射膜、隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对的第二反射膜、以及通过施加电压来改变所述反射膜间间隙的量的静电致动器部,所述静电致动器部包括第一静电致动器以及第二静电致动器,所述电压控制部包括:偏压施加单元,对所述第一静电致动器施加偏压;间隙检测单元,检测所述反射膜间间隙的量;以及反馈电压施加单元,对所述第二静电致动器施加与通过所述间隙检测单元检测出的所述反射膜间间隙的量相对应的反馈电压,所述偏压被施加以使所述第二静电致动器的灵敏度为固定。
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