[发明专利]基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描装置与方法有效
| 申请号： | 201310176241.7 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN103226238A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 邹丽敏;李佃蒙;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/36;G02F1/13 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描装置与方法属于光学精密测量技术领域，具体涉及一种共焦显微镜和其扫描方法；利用反射式液晶空间光调制器取代传统共焦横向扫描装置中的横向扫描机构，通过改变反射式液晶空间光调制器载入的相位驱动图，实现光束的二维偏转，从而实现非机械的横向扫描；这种设计，使得显微物镜和被测物均不需要横向移动，即可实现对被测物的横向光束扫描，不仅可以避免三维微位移平台精确和复杂的控制，而且可以提高扫描精度和重复性，尤其对易形变样品效果更加明显，因此还能扩大测量样品种类。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 反射 液晶 空间 调制器 横向 扫描 装置 方法 | ||
【主权项】：
基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描装置，其特征在于激光器(1)发出的光束通过扩束器（2)、偏振片(3)和第一分光棱镜(4)后入射到反射式液晶空间光调制器(5)，经过反射式液晶空间光调制器(5)调制后的出射光束经第一分光棱镜(4)反射后依次经过扫描透镜(6)、管镜(7)、第二分光棱镜(8)和显微物镜(9）汇聚到被测物(10)上，被测物(10)反射的光束沿原路返回入射到第二分光棱镜(8)，经第二分光棱镜(8)反射的光束通过收集物镜(11)和镜头(12)成像在CCD(13)上;所述的反射式液晶空间光调制器(5)在光路中位于扫描透镜(6)的前焦面处，扫描透镜(6)的后焦面与管镜(7)的前焦面重合。
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