[发明专利]电晕放电模式的大气等离子体发生装置

摘要

电晕放电模式的大气等离子体发生装置，它属于光学加工领域。它为了解决光学元件的局部小范围面形误差修整问题。它的内电极的上端镶嵌在圆环形聚四氟乙烯连接块的内孔的上端中，圆环形绝缘固定套套接在内电极的中部，圆环形绝缘固定套外圆面的上部镶嵌在圆环形聚四氟乙烯连接块的内孔的下端处，圆管形陶瓷喷嘴的上端套接在圆环形绝缘固定套外圆面的下部上，使圆管形陶瓷喷嘴的内圆面与内电极的外圆面下部之间有一圈均匀的间隙，中空圆环形外电极的上端与圆环形聚四氟乙烯连接块的下端连接，中空圆环形外电极的内孔套接在圆管形陶瓷喷嘴的外圆面上。本发明能以高分辨率去除函数的方式对待加工件进行大气等离子体加工。

主权项

电晕放电模式的大气等离子体发生装置，其特征在于它由内电极（1）、圆环形聚四氟乙烯连接块（2）、圆环形绝缘固定套（3）、中空圆环形外电极（4）、圆管形陶瓷喷嘴（5）组成；圆环形聚四氟乙烯连接块（2）的上端面上开有与圆环形聚四氟乙烯连接块（2）内孔（2‑1）连通的进气孔（2‑2），圆环形绝缘固定套（3）上设置有多个通气孔（3‑1），中空圆环形外电极（4）内部设置有冷却空腔（4‑1）；内电极（1）的上端镶嵌在圆环形聚四氟乙烯连接块（2）的内孔（2‑1）的上端中，圆环形绝缘固定套（3）套接在内电极（1）的中部，圆环形绝缘固定套（3）外圆面的上部镶嵌在圆环形聚四氟乙烯连接块（2）的内孔（2‑1）的下端处，圆管形陶瓷喷嘴（5）的上端套接在圆环形绝缘固定套（3）外圆面的下部上，使圆管形陶瓷喷嘴（5）的内圆面与内电极（1）的外圆面下部之间有一圈均匀的间隙（5‑1），使进气孔（2‑2）通过内孔（2‑1）、通气孔（3‑1）与间隙（5‑1）导气连通，中空圆环形外电极（4）的上端与圆环形聚四氟乙烯连接块（2）的下端连接，中空圆环形外电极（4）的内孔套接在圆管形陶瓷喷嘴（5）下端面的外圆面上，中空圆环形外电极（4）的下端面与圆管形陶瓷喷嘴（5）的下端面、内电极（1）的下端面平齐；所述内电极（1）连接射频电源负载输出作为阳极，工作台（7）接地作为地电极，圆管形陶瓷喷嘴（5）作为约束气体流动的通道，待加工工件（6）自身作为介质阻挡层，此时为电晕放电模式，待加工件（6）处于电场中间，在阳极与地电极之间产生以阳极为中心的散射状等离子体，等离子体与待加工件（6）发生的化学反应在电场中间进行，对待加工件（6）表面进行加工。