[发明专利]显示面板的薄膜晶体管及其制作方法

摘要

一种薄膜晶体管，形成于一基板上。薄膜晶体管包括一栅极、一栅极绝缘层、一第一保护图案、一第二保护图案、一源极、一漏极、一半导体通道层，以及一钝化层。栅极位于基板上，栅极绝缘层位于栅极与基板上，第一保护图案与第二保护图案位于栅极上方的栅极绝缘层上，源极位于栅极绝缘层与第一保护图案上，且漏极位于栅极绝缘层与第二保护图案上。半导体通道层位于栅极绝缘层、源极与漏极上。钝化层位于半导体通道层、源极与漏极上。于源极往漏极的一延伸方向上，第一保护图案的长度小于源极的长度，且第二保护图案的长度小于漏极的长度。

主权项

一种薄膜晶体管，系形成于一基板上，该薄膜晶体管包括：一栅极，位于该基板上；一栅极绝缘层，位于该栅极与该基板上；一第一保护图案与一第二保护图案，位于该栅极上方的该栅极绝缘层上，该第一保护图案与该第二保护图案的材料包括铟锡氧化物、铟镓锌氧化物、铟锌氧化物、氧化铟或氧化锌；一源极，位于该栅极绝缘层与该第一保护图案上；一漏极，位于该栅极绝缘层与该第二保护图案上；一半导体通道层，部分位于该源极与该漏极间的该栅极绝缘层上，且部分位于该源极与该漏极上；以及一钝化层，位于该半导体通道层、该源极与该漏极上；其中于该源极往该漏极的一延伸方向上，该第一保护图案的长度小于该源极的长度，且该第二保护图案的长度小于该漏极的长度。