[发明专利]MEMS振荡器有效
| 申请号： | 201310178827.7 | 申请日： | 2013-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN103227612A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 赵晖;杨晋玲;骆伟;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H03B5/04 | 分类号： | H03B5/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种MEMS振荡器，包括：一MEMS谐振器；一第一阻抗匹配网络，其输入端与MEMS谐振器的输出端连接；一第二阻抗匹配网络，其输出端与MEMS谐振器的输入端连接；一放大器，其输入端与第一阻抗匹配网络的输出端连接；一移相网络，其输入端与放大器的输出端连接，输出端与第二阻抗匹配网络的输入端连接；一输出缓冲器，其输入端与移相网络的输出端连接，以上构成的正反馈型振荡电路。本发明MEMS振荡器中的MEMS谐振器是带温度补偿的高频高品质因子(Q)的MEMS圆盘谐振器，具有高稳定的频率输出。 | ||
| 搜索关键词： | mems 振荡器 | ||
【主权项】：
一种MEMS振荡器，包括：一MEMS谐振器；一第一阻抗匹配网络，其输入端与MEMS谐振器的输出端连接；一第二阻抗匹配网络，其输出端与MEMS谐振器的输入端连接；一放大器，其输入端与第一阻抗匹配网络的输出端连接；一移相网络，其输入端与放大器的输出端连接，输出端与第二阻抗匹配网络的输入端连接；一输出缓冲器，其输入端与移相网络的输出端连接，以上构成的正反馈型振荡电路。
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