[发明专利]用于热处理衬底上形成的结构的方法和装置

摘要

本发明一般描述用来在衬底的预期区域上执行退火处理的一种或多种设备及多种方法。在一实施例中，传送一定量的能量至衬底表面以优先熔化衬底的某些预期区域，以去除先前处理步骤造成的不需要的损害，而使掺杂剂更均匀地分布在衬底的各个区域内，和／或活化衬底的各个区域。因为掺杂剂原子在衬底的熔化区内的扩散速率以及溶解度增加，所以该优先熔化处理使这些掺杂剂可更均匀地分布在熔化区内。因而熔化区的创建容许：1)这些掺杂剂原子更均匀地重新分布，2)去除先前处理步骤中所造成的缺陷，以及3)形成具有超陡峭（hyper-abrupt）掺杂剂浓度的区域。

主权项

一种热处理衬底的方法，包括：将衬底放置在衬底支撑件上；以及将多个电磁能量脉冲传送至衬底的表面上的第一地区，所述衬底的所述表面与所述衬底的第一区域热连通，其中传送多个电磁能量脉冲包括：将第一电磁能量脉冲传送至所述衬底的所述表面；将第二电磁能量脉冲传送至所述衬底的所述表面；以及调整所述第一电磁能量脉冲起始及所述第二电磁能量脉冲起始之间的时间，以使包括在所述第一区域内的材料熔化。