[发明专利]一种超高纯POCL3的制备方法无效
申请号: | 201310180545.0 | 申请日: | 2013-05-16 |
公开(公告)号: | CN104163406A | 公开(公告)日: | 2014-11-26 |
发明(设计)人: | 殷福华;朱龙;邵勇 | 申请(专利权)人: | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C01B25/10 | 分类号: | C01B25/10 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种超高纯POCL3的制备方法,黄磷与工业氯气在第一反应釜中加热制成PCL3并翻倒入第二反应釜;PCL3经第二反应釜加热蒸馏;取75.5℃~78℃馏份PCL3成品;将经过初次加热蒸馏过的PCL3成品经氯化水解法制成POCL3一次品;加热蒸馏温度设置为100℃~105℃,取104℃~109℃馏份得POCL3二次品;将POCL3二次品经精馏得到超高纯POCL3。对原材料的要求不高,所用黄磷为普通黄磷,所用氯气为工业氯气,降低工业生产成本,在常温常压下生产制备的超高纯POCL3能满足集成电路(IC)和多晶硅太阳能电池以及光纤等产品生产加工要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 pocl sub 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种超高纯POCL3的制备方法,其特征在于:制备步骤如下:(1)黄磷与工业氯气在第一反应釜中加热制成PCL3并翻倒入第二反应釜;(2)将步骤(1)所得PCL3经第二反应釜加热蒸馏;取75.5℃~78℃馏份PCL3成品;(3)将步骤(2)所得的PCL3成品经氯化水解法制成POCL3一次品;(4)对步骤(3)所得的POCL3一次品进行加热蒸馏温度设置为100℃~105℃,取104℃~109℃馏份得POCL3二次品;(5)将步骤(3)所得的POCL3二次品经精馏得到超高纯POCL3。
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