[发明专利]一种高精度高空间分辨长程面形检测系统

摘要

本发明公开了一种高精度高空间分辨长程面形检测系统，本系统包括工作台、传输台、激光光源、扫描光学头、分束棱镜、信号采集处理单元；所述扫描光学头安装于所述传输台上；所述分束棱镜用于将所述激光光源输出的光线偏折入射到所述扫描光学头、且入射方向与所述传输台扫描方向一致；所述扫描光学头用于将该入射光束偏折且聚焦到所述工作台的待测物体检测区中待测物体表面；所述待测物体检测区中待测物体表面反射的光线依次经所述扫描光学头、所述分束棱镜进入所述信号采集处理单元。本系统能够对待测表面进行高空间频率采样测量、测量精度；能够测量大尺寸的物体，特别适合同步辐射束线上光学元件的检测。

主权项

一种高精度高空间分辨长程面形检测系统，其特征在于包括工作台、传输台、激光光源、扫描光学头、分束棱镜、信号采集处理单元；所述扫描光学头安装于所述传输台上；所述分束棱镜用于将所述激光光源输出的光线偏折入射到所述扫描光学头、且入射方向与所述传输台扫描方向一致；所述扫描光学头用于将该入射光束偏折且聚焦到所述工作台的待测物体检测区中待测物体表面；所述待测物体检测区中待测物体表面反射的光线依次经所述扫描光学头、所述分束棱镜进入所述信号采集处理单元。