[发明专利]一种非球面法向误差检测装置

摘要

一种非球面法向误差检测装置，涉及非球面误差检测装置。设有底座、Y向导轨、Y向滑块、Y向直线电机、工作台、立柱、横梁、X向导轨、X向滑块、X向直线电机、X向移动块、第一配重块、Z向导轨、Z向滑块、Z向直线电机、Z向移动板、支架、第二配重块、二自由度球面马达固定架、二自由度球面马达、高精度测头和控制电路；Y向直线电机、X向直线电机、Z向直线电机和二自由度球面马达均可通控制电路控制，数控电路的控制代码可由PC通过软件结合待测工件的几何特征即可计算并导出其控制代码。由于采用直线电机驱动，可保证进给的高精度和结构的紧凑性。具有三坐标测量仪的功能，不仅可实现非球面法向误差的检测，而且能检测复杂的曲面。

主权项

一种非球面法向误差检测装置，其特征在于设有底座、Y向导轨、Y向滑块、Y向直线电机、工作台、立柱、横梁、X向导轨、X向滑块、X向直线电机、X向移动块、第一配重块、Z向导轨、Z向滑块、Z向直线电机、Z向移动板、支架、第二配重块、二自由度球面马达固定架、二自由度球面马达、高精度测头和控制电路；Y向导轨和Y向直线电机定子固于底座上，Y向直线电机动子固于工作台上，工作台与Y向直线电机连接，并通过Y向滑块与Y向导轨滑动配合，立柱固于底座上，横梁固于立柱上，X向导轨固于横梁两侧，X向直线电机定子固于横梁上，X向滑块固于X向移动块上，X向移动块固定X向直线电机动子，X向移动块后部固定第一配重块，X向移动块前部固定Z向导轨和Z向直线电机定子，Z向移动板上固定Z向滑块，Z向移动板与Z向直线电机动子连接；支架固于Z向移动板上，支架前部固定第二配重块，支架后部固定二自由度球面马达固定架，二自由度球面马达定子固于二自由度球面马达固定架上，二自由度球面马达转子与二自由度球面马达定子配合，高精度测头固于二自由度球面马达转子的伸出轴上，控制电路包括Y向直线电机驱动器、X向直线电机驱动器、Z向直线电机驱动器、二自由度球面马达驱动器及微控制器，Y向直线电机驱动器、X向直线电机驱动器、Z向直线电机驱动器和二自由度球面马达驱动器均与微控制器电连接。