[发明专利]一种压电石英晶体晶片倒边实现效果的测量方法有效
| 申请号： | 201310182751.5 | 申请日： | 2013-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN103293227A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 梁生元;白利才;李欢;李冬强 | 申请（专利权）人： | 廊坊中电熊猫晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/12 | 分类号： | G01N29/12 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 065001 河北省廊坊市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明是一种压电石英晶体晶片倒边实现效果的测量方法，包括1）压电石英晶体晶片使用倒边工艺加工；2）用测量仪器测量其基频频率f1和三次泛音频率f3，并计算其相关值Deltaf=3*f1-f3；3）当晶片制造成的压电石英晶体元器件被证明完全符合性能品质要求后，今后再制造该规格晶片时，在晶片倒边加工工序，即以Deltaf值是否符合来判断压电石英晶体晶片倒边实现设计的效果。优点：本发明是在对倒边过程中或倒边完成后，测量压电石英晶体晶片基频频率与三次泛音频率之差值，解决了传统依据倒边时间或只测量晶片基频频率等方法判断倒边实现度的不准确性，对各类压电石英晶体晶片倒边效果的有效控制有推广的价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 石英 晶体 晶片 实现 效果 测量方法 | ||
【主权项】：
一种压电石英晶体晶片倒边实现效果的测量方法，其特征是包括1）压电石英晶体晶片使用倒边工艺加工，具体是将晶片和研磨砂按重量比例为1:1置入曲率为R20‑R65的圆柱状或椭球状刚性筒中，再将该筒置于滚筒倒边机，使其以175rpm高速旋转，从而达到晶片边缘部位被研磨砂和筒壁修整变薄效果，即在晶片长度方向端面厚度为晶片中心厚度的50%‑90%；2）用测量仪器测量其基频频率f1和三次泛音频率f3，并计算其相关值Delta f = 3*f1‑f3；3）当晶片制造成的压电石英晶体元器件被证明完全符合性能品质要求后，今后再制造该规格晶片时，在晶片倒边加工工序，即以Delta f值是否符合来判断压电石英晶体晶片倒边实现设计的效果。
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