[发明专利]单片集成式微型红外气体传感器有效
| 申请号： | 201310182931.3 | 申请日： | 2013-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN103245634A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 谭振新;秦毅恒;张昕;明安杰;欧文;吴健;赵敏;罗九斌;顾强 | 申请（专利权）人： | 江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35;B81C1/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种单片集成式微型红外气体传感器，包括：具有凹坑的上衬底和具有凹坑的下衬底，上衬底、下衬底以及键合假片结合在一起，中间形成中空的气室；上衬底凹坑的凹陷处设置有红外光源，上衬底凹坑的侧壁具有相对的斜面，在相对的斜面上设置有反射微镜；下衬底凹坑的凹陷处分布有一个或多个光栅结构，以及与光栅结构数量相一致的红外探测器；上衬底上红外光源的位置、下衬底上光栅结构、红外探测器分布的位置与上衬底凹坑斜面上反射微镜的位置及倾斜角度相配合，使得红外光源发出的红外光经过光栅结构分光后，与被测气体特征红外吸收峰对应波段的窄带红外光射向反射微镜，并经反射微镜反射后准确入射至红外探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 集成 式微 红外 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种单片集成式微型红外气体传感器，其特征在于，包括：具有凹坑的上衬底和具有凹坑的下衬底，以及位于上衬底和下衬底之间的键合假片，上衬底、下衬底以及键合假片结合在一起，中间形成中空的气室；上衬底凹坑的凹陷处设置有红外光源，上衬底凹坑的侧壁具有相对的斜面，在相对的斜面上设置有反射微镜；红外光源电连接上衬底外表的电极；下衬底凹坑的凹陷处分布有一个或多个光栅结构，以及与光栅结构数量相一致的红外探测器；红外探测器电连接下衬底外表的电极；上衬底上红外光源的位置、下衬底上光栅结构、红外探测器分布的位置与上衬底凹坑斜面上反射微镜的位置及倾斜角度相配合，使得红外光源发出的红外光经过光栅结构分光后，与被测气体特征红外吸收峰对应波段的窄带红外光射向反射微镜，并经反射微镜反射后准确入射至红外探测器；在上衬底、下衬底或键合假片上开有与外界交换气体的通气孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏物联网研究发展中心，未经江苏物联网研究发展中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310182931.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：儿童推车
- 下一篇：车辆起动机及其驱动齿轮
