[发明专利]检查装置、检查方法、光通过单元及安装构件

摘要

本发明提供一种检查装置，其在使至少一个对象物分别排列在规定的位置的状态下检查上述对象物，其中，光能够穿透上述对象物。检查装置包括光照射部，朝向上述对象物照射光；光通过部，用于仅使从上述光照射部照射的光中的穿透各对象物的内部的光通过；受光部，接受通过了上述光通过部的光。各光通过部具有罩体，该罩体与上述受光部之间具有间隔，并且能够从上述受光部分离。上述罩体具有与上述对象物接触的第一开口、与上述第一开口之间具有间隔的第二开口部分、位于上述第一开口与上述第二开口部分之间的中继部分。上述中继部分在与上述第一开口部分大致垂直的方向上伸缩。

主权项

一种检查装置，其在使至少一个对象物排列在规定的位置的状态下检查上述对象物，其中，光能够穿透上述对象物，其特征在于，具有：光照射部，朝向上述对象物照射光，光通过部，分别位于与上述规定的位置相对应的位置，上述光通过部使从上述光照射部照射的光中的穿透各对象物的内部的光通过，受光部，接受通过了上述光通过部的光；各光通过部具有罩体，该罩体以能够分离的方式配置在与上述受光部分开的位置；上述罩体具有：第一开口部分，其与上述对象物接触，第二开口部分，其与该第一开口部分分开，中继部分，其位于上述第一开口部分与上述第二开口部分之间；上述第一开口部分与上述对象物的外表面接触，并且穿透了上述对象物的内部的光经由上述对象物入射到上述第一开口部分；上述中继部分在与上述第一开口部分垂直的方向上伸缩，该中继部分使从上述第一开口部分入射的光通向上述第二开口部分；上述第二开口部分使通过了上述中继部分的光朝向上述受光部射出，上述光通过部还具有固定开口部分，该固定开口部分以能够安装或卸下的方式固定上述罩体；上述固定开口部分具有与上述第二开口部分连通的第三开口部分。