[发明专利]一种用于MOCVD设备的多级颗粒过滤器

摘要

本发明公开了一种用于MOCVD设备的多级颗粒过滤器，所述多级颗粒过滤器,包括罐体、进气口与出气口，所述罐体包括底盖、串联的多级罐体以及上盖；所述多级罐体中的前级罐体上端法兰上安装有前级法兰，所述多级罐体中的每一级罐体内均设有滤芯；所述前级法兰的法兰板底端面设有筒形罩；所述前级罐体内的滤芯为金属滤芯，该金属滤芯位于前级法兰筒形罩的上部，该筒形罩的下部设有液冷系统；所述进气口、前级法兰筒形罩外壁与罐体内壁之间的通道、前级法兰筒形罩内腔、余下各级罐体内腔、出气口连通形成气体通道。本发明拆卸方便且可以降温、过滤效果好、清洗安全，可防止MOCVD反应腔中的粉尘、杂质进入下游阀门以及真空泵的过滤装置。

主权项

一种用于MOCVD设备的多级颗粒过滤器,包括罐体以及设于罐体侧壁上的进气口与罐体顶部的出气口；其特征在于, 所述罐体包括底盖（3）、串联的多级罐体、以及上盖（15）；所述多级罐体中的前级罐体（4）上端法兰上安装有前级法兰（11），该前级法兰（11）将前级罐体（4）与余下各级罐体（12）隔开形成前级过滤区与后级过滤区，所述多级罐体中的每一级罐体内均设有滤芯；所述前级法兰（11）的法兰板上开有连通前级过滤区与后级过滤区的通道，该前级法兰（11）的法兰板底端面设有筒形罩；所述前级罐体（4）内的滤芯为金属滤芯（10），该金属滤芯（10）位于前级法兰（11）筒形罩的上部，该筒形罩的下部设有液冷系统；所述前级法兰（11）筒形罩底端位于进气口之下；所述进气口、前级法兰（11）筒形罩外壁与罐体内壁之间的通道、前级法兰（11）筒形罩内腔、余下各级罐体（12）内腔、出气口连通形成气体通道。