[发明专利]一种晶片货架提示方法、装置和系统有效
| 申请号： | 201310188443.3 | 申请日： | 2013-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN104181812A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 邓俊弦;郭腾冲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/02 | 分类号： | G05B13/02;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶片货架提示方法，装置和系统，将放置在晶片货架上的当前待处理的晶片组与实时派工系统中该加工区域的机台组的待处理晶片组进行匹配，判断当前待处理晶片组的下一道工序对应机台组是否是该加工区域中的机台组，以及当前待处理晶片组对应的加工处理顺序，不需要人工判断确定需要优先派工的待处理晶片组，提高了半导体生产效率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 货架 提示 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种晶片货架提示方法，应用于某个加工区域，所述加工区域中包括晶片货架和若干机台组，其特征在于，设置所述晶片货架的货架标识，设置每个所述机台组的机台标识，建立所述晶片货架的货架标识与每个所述机台标识的对应关系，该方法包括：具有第一晶片标识的第一晶片组进入所述加工区域并被放置在所述晶片货架后，读取所述第一晶片标识；按照所述晶片货架的货架标识与所述机台标识的对应关系，查询所述货架标识对应的机台标识；根据所述第一晶片标识和所述机台标识在实时派工系统的关联情况，判断第一晶片组与所述晶片货架是否匹配，并提示匹配结果，以及当所述第一晶片组与所述晶片货架匹配时，提示所述第一晶片组的加工处理顺序。
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