[发明专利]哈特曼波前传感器的校准系统及校准方法无效
| 申请号： | 201310188665.5 | 申请日： | 2013-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN103267489A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王艳萍;马冲;王茜蒨 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14;G01M11/00;G01J9/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100013 北京市北三环东*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种哈特曼波前传感器的校准系统及校准方法。所述校准系统包括激光器、点光源产生及位移控制装置、光学准直装置与数据采集分析装置；点光源产生及位移控制装置，接收激光器产生的激光光束转换成点光源并控制点光源的位移；光学准直装置，接收点光源输出的球面波并转化成平面波输出；将哈特曼波前传感器置于光学准直装置之后，并连接至数据采集分析装置，哈特曼波前传感器接收平面波的波前，并转化为若干衍射光斑光强的分布图像信息；数据采集分析装置，用以采集图像信息,并根据点光源位移前后哈特曼波前传感器所测各衍射光斑光强的分布图像信息及点光源位移量计算出哈特曼波前传感器的小孔阵列面与CCD接收面之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 哈特曼波前 传感器 校准 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种哈特曼波前传感器的校准系统，其特征在于，包括激光器、点光源产生及位移控制装置、光学准直装置以及数据采集分析装置；所述激光器用以产生激光光束；所述点光源产生及位移控制装置，接收所述激光光束转换成点光源并控制点光源的位移；所述光学准直装置，接收所述点光源输出的球面波并转化成平面波输出；当进行哈特曼波前传感器校准时，将哈特曼波前传感器置于所述光学准直装置之后，并连接至所述数据采集分析装置，所述哈特曼波前传感器接收所述平面波的波前，转化为若干衍射光斑光强的分布图像信息；所述数据采集分析装置，采集点光源位移前后所述哈特曼波前传感器所检测的各衍射光斑光强的分布图像信息，并根据所述各衍射光斑光强的分布图像信息以及点光源位移量计算出所述哈特曼波前传感器的小孔阵列面与CCD接收面之间的距离。
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