[发明专利]一种三维形貌测量装置

摘要

本发明公开了一种三维形貌测量装置，包括投影单元和成像单元，投影单元包括投影镜头、光源和条纹图像发生器；投影单元利用来自光源的光经过条纹图像发生器、投影镜头将条纹图像投影至测量对象；成像单元，包括成像元件和成像镜头，成像镜头将测量对象上的条纹图像成像于成像元件上；所述投影单元的光轴和成像单元的光轴平行，投影单元的物距等于成像单元的像距，投影单元的像距等于成像单元的物距，投影镜头和成像镜头的焦距相等。本发明在参考平面上的投影条纹间距相等，且成像景深范围内的条纹间距相等，且两者条纹间距也相等，实现非远心光路上的“远心条纹图像”效果；扩大了使用范围，在微观测量和宏观测量均可以获得“远心条纹图像”效果。

主权项

一种三维形貌测量装置，包括投影单元和成像单元，投影单元，包括投影镜头、光源和条纹图像发生器；光源照射条纹图像发生器生成条纹图像、投影镜头将条纹图像投影至参考平面和测量对象表面上；成像单元，包括成像元件和成像镜头，成像镜头将参考平面和测量对象表面上的条纹图像成像于成像元件上；其特征在于：所述投影单元的光轴和成像单元的光轴平行，投影单元的物距等于成像单元的像距，投影单元的像距等于成像单元的物距，投影单元的像距为参考平面到投影镜头的像方主面的距离，成像单元的物距为参考平面到成像镜头的物方主面的距离，投影镜头和成像镜头的焦距相等；所述投影单元的条纹图像发生器中心偏离投影单元的光轴设置和/或所述成像单元的成像元件中心偏离成像单元的光轴设置。