[发明专利]一种表面形貌干涉测量的方法及装置有效
| 申请号： | 201310188969.1 | 申请日： | 2013-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN103267494A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王选择;杨练根;周浩;刘丙康;夏阳;何浪;管鑫 | 申请（专利权）人： | 湖北工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 张火春 |
| 地址： | 430068 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及表面形貌测量领域，公开了一种基于多波长轮换与相移扫描相结合的表面形貌干涉测量的方法及装置。本发明的方法包括以下步骤：1：启动光源；2：进行图像采集；3：切换光源；4：判断光源切换是否完成，如果否，则执行步骤2；如果是，则改变参考镜的位置，并采集不同波长激光在不同的参考镜位置下的干涉信号；5：判断采集是否完成，如果否，则执行步骤1；如果是，则进行图像信号处理、样品形貌参数计算及显示。本发明的装置包括：光源单元、干涉显微测量单元、图像采集单元、多波长切换单元、压电陶瓷PZT驱动单元、图像处理与控制单元；本发明充分利用了波长扫描与相移扫描两种测量方法的优点，实现了表面形貌的高精度绝对测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 形貌 干涉 测量 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种表面形貌干涉测量的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：启动光源；步骤2：进行图像采集；步骤3：切换光源；步骤4：判断光源切换是否完成，如果否，则执行所述的步骤2；如果是，则改变参考镜的位置，并采集不同波长激光在不同的参考镜位置下的干涉信号；步骤5：判断采集是否完成，如果否，则执行所述的步骤1；如果是，则进行图像信号处理、样品形貌参数计算及显示。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北工业大学，未经湖北工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310188969.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
