[发明专利]一种稀土掺杂七铝酸十二钙薄膜材料的制备方法

摘要

一种稀土掺杂七铝酸十二钙薄膜材料的制备方法，本发明涉及薄膜材料的制备方法。本发明要解决铟的价格高昂且供应受限使其应用受到限制的问题。方法：一、混合；二、压制成原料片；三、制得稀土掺杂七铝酸十二钙多晶材料；四、溅射。利用本发明制备的薄膜的透明导电特性取代价格昂贵的氧化铟锡透明导电薄膜材料，提高太阳电池的光电转换效率，同时达到简化电池结构和降低成本的目的。本发明用于制备稀土掺杂七铝酸十二钙薄膜材料。

主权项

一种稀土掺杂七铝酸十二钙薄膜材料的制备方法，其特征在于一种稀土掺杂七铝酸十二钙薄膜材料的制备方法，具体是按照以下步骤制备的：一、将CaO粉末和Al2O3粉末混合均匀，再加入稀土氧化物，然后研磨4h～6h，得到混合粉末，其中CaO和Al2O3的物质的量之比为12∶7，稀土氧化物与CaO的物质的量之比为0.042%～0.42%；二、将步骤一得到的混合粉末，在压力为10MPa～20MPa条件下，保压4min～10min，压制成原料片；三、将步骤二得到的原料片在空气气氛下烧结，控制烧结温度为1200℃～1400℃，烧结时间为10h～12h，得到稀土掺杂七铝酸十二钙多晶材料；四、采用磁控溅射法将步骤三得到的稀土掺杂七铝酸十二钙多晶材料溅射到基片表面上，溅射参数为：抽真空至6.0×10‑4Pa～9.0×10‑4Pa，控制溅射压强为1Pa～10Pa，基片温度为300℃～450℃，射频电源溅射功率为90W～120W，溅射时间为60min‑300min，氩气流量为30sccm～50sccm，再将基片表面得到的薄膜材料进行还原后处理，制得稀土掺杂七铝酸十二钙薄膜材料。