[发明专利]玻璃基板蚀刻用刀片无效
| 申请号： | 201310190989.2 | 申请日： | 2013-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN103570249A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 黄龙云;姜东昊 | 申请（专利权）人： | 诺发科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 韩国忠淸北道*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及在以垂直流式对使用于显示面板、太阳能电池等的玻璃基板进行减薄的工艺中使用的蚀刻装置用刀片结构。由于，现有的一字型刀片存在蚀刻溶液向内侧偏向而产生凝聚的现象，因此，存在蚀刻的均匀度不良，并在玻璃基板上产生斑点的问题，由此，本发明的刀片端部形成弯曲形状，使得蚀刻溶液沿着玻璃基板的整个表面均匀地流下。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 蚀刻 刀片 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板蚀刻用刀片，使用于以垂直流式蚀刻玻璃基板的减薄工艺的刀片，其特征在于：所述刀片的端部形成弯曲形状，使得蚀刻溶液沿着刀片的整个长度以均匀的流量流下。
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