[发明专利]静电放电保护结构有效

专利信息
申请号: 201310193680.9 申请日: 2013-05-22
公开(公告)号: CN104183596B 公开(公告)日: 2017-06-13
发明(设计)人: 甘正浩 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L27/04 分类号: H01L27/04;H01L23/60
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人: 骆苏华
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种静电放电保护结构,包括半导体衬底;位于半导体衬底表面的平行排列的若干个N型横向扩散场效应晶体管;位于半导体衬底内的P型体区,P型体区内具有源极、沟道区和体区连接区,体区连接区位于每一个N型横向扩散场效应晶体管靠近源极的外侧;每一个N型横向扩散场效应晶体管的漏极与静电放电输入端相连接,每一个N型横向扩散场效应晶体管的源极与接地端相连接,每一个N型横向扩散场效应晶体管的栅极与第一控制电压端相连接,每一个体区连接区与第二控制电压端相连接。多个LDMOS晶体管连接在一起作为静电放电保护结构,不仅提高了静电放电能力,且各个寄生三极管能同时开启,提高了静电放电保护结构的导通均匀性。
搜索关键词: 静电 放电 保护 结构
【主权项】:
一种静电放电保护结构,其特征在于,包括:半导体衬底;位于所述半导体衬底表面平行排列的若干个N型横向扩散场效应晶体管,所述N型横向扩散场效应晶体管包括源极、漏极、位于源极与漏极之间的沟道区和位于所述沟道区表面的栅极;位于所述半导体衬底内的P型体区,所述P型体区内具有源极、沟道区和与所述P型体区电连接的体区连接区,所述体区连接区位于每一个N型横向扩散场效应晶体管靠近源极的外侧;每一个N型横向扩散场效应晶体管的漏极与静电放电输入端相连接,每一个N型横向扩散场效应晶体管的源极与接地端相连接,每一个N型横向扩散场效应晶体管的栅极与第一控制电压端相连接,每一个体区连接区与第二控制电压端相连接;当所述第一控制电压端或第二控制电压端的电压大于0伏时,产生所述第一控制电压端或第二控制电压端的电压的电路为:第一电容与第一电阻串联形成RC电路,所述第一电容的一端与静电放电输入端相连接,所述第一电阻的一端与接地端相连接,所述第一电容与第一电阻相连接的一端作为电压输出端,所述电压输出端与第一控制电压端或第二控制电压端相连接。
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