[发明专利]一种多聚硼纳米硅复合浆料的制备方法及其应用有效

专利信息
申请号: 201310194561.5 申请日: 2013-05-23
公开(公告)号: CN103280491A 公开(公告)日: 2013-09-04
发明(设计)人: 沈晓东;刘国钧;杨小旭;成汉文;沈晓燕 申请(专利权)人: 苏州金瑞晨科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0288
代理公司: 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 代理人: 刘宪池
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种多聚硼纳米硅复合浆料的制备方法及其应用,制备方法包括以下步骤:1)制备直径为10-100纳米的硅微粒;2)制备多聚硼组合物;3)将步骤1和步骤2制得的硅微粒和多聚硼组合物在公转-自传设备中通入保护气氛下混合,得到的含硼纳米硅浆料的粘度在0.5–11.0PaS。将制得的含硼纳米硅浆料通过丝网印刷到电池硅片表面,线条清晰度高,无毛刺,能对硅片分区域选择性地进行硼掺杂并形成高、低硼掺杂区。
搜索关键词: 一种 多聚硼 纳米 复合 浆料 制备 方法 及其 应用
【主权项】:
一种多聚硼纳米硅复合浆料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤1)制备直径为10‑100纳米的硅微粒;2)制备硼组合物,具体组分包括硼、氮、氢、氧、炭等元素;3)将步骤1和步骤2制得的硅微粒和含硼组合物在公转‑自传设备中通入保护气氛下混合,硼组合物与硅重量比值在0.05 ‑ 0.1之间,得到的含硼纳米硅浆料的粘度在0.5– 11.0 PaS。
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