[发明专利]一种磷掺杂纳米硅材料的制备方法及其装置

摘要

本发明公开了一种磷掺杂纳米硅材料的制备方法以及装置，包括将棒状原材料作为电极材料置于火花放电腔体中，在介电气体或液体材料保护下，脉冲电源施加电压于电极原材料上并产生火花，将电极原材料局部熔化、气化，熔化、气化的电极原材料喷射至介电气体或液体中，形成纳米颗粒，并随后由含有过滤布的颗粒收集装置分离收集。本发明的方法和装置，可以提高电极原材料火花放电的面积，从而提高制备纳米颗粒的产能，达到规模化生产的要求，还可以控制电极原材料之间的间距，从而控制形成的纳米颗粒的大小和提高颗粒尺寸分布的均匀性。

主权项

一种用来制备磷掺杂纳米硅材料的装置，其特征在于，包括容纳火花放电的腔体，所述腔体一端连通供介电材料进入的管道，另一端由阀门连通有颗粒收集器，颗粒收集器里设有过滤布；还包括置于腔体中的第一电极、第二电极以及与第一电极、第二电极导通的脉冲电源；所述第一电极连接有使第一电极旋转的旋转马达，所述第二电极连接有使第二电极前后移动的步进马达；所诉第一电极为所需制备的纳米材料的块材，形状为圆柱体；所述第二电极为所需制备的纳米材料的块材，其靠近第一电极的一面为凹形的圆柱面。